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潔凈工程安裝高效過(guò)濾器注意事項(xiàng)

潔凈工程安裝高效過(guò)濾器注意事項(xiàng)

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

高效過(guò)濾器是潔凈工程中的重中之重,一般來(lái)說(shuō),潔凈室會(huì)安設(shè)有初效、中效、高效三級(jí)過(guò)濾器,高效過(guò)濾器主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物,是室外空氣進(jìn)入潔凈室的最后一道關(guān)卡。安裝高效過(guò)濾器,并不是像我們?nèi)粘0惭b空調(diào)那么簡(jiǎn)單,它是最后一道關(guān)卡,責(zé)任重大,在安裝時(shí),也有諸多的特殊要求。
特殊之處一:安裝之前室內(nèi)先清潔
在一般人的設(shè)想中,三級(jí)過(guò)濾器一起安裝,最后一起運(yùn)行便可以了。然而并非如此。潔凈工程中,在安裝高效過(guò)濾器之前,首先要對(duì)潔凈室、潔凈空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行全面清潔,達(dá)到清潔要求后,凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)12h以上,再次清掃、擦凈潔凈室后,方可安裝高效過(guò)濾器。為什么要先清潔呢?高效過(guò)濾器用于捕集0.5um以下的微粒,如果不先進(jìn)行清潔,大量的微粒會(huì)造成高效過(guò)濾器堵塞。
特殊之處二:輕拿輕放,防止劇烈震動(dòng)
潔凈工程中,高效過(guò)濾器的運(yùn)輸和存放應(yīng)按照出產(chǎn)廠標(biāo)志的方向擱置,運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)輕拿輕放,防止劇烈振動(dòng)和碰撞。這是因?yàn)楦咝н^(guò)濾器是非常精密的儀器,頭發(fā)絲般的誤差便會(huì)導(dǎo)致儀器失靈,因此需要輕拿輕放,防止劇烈震動(dòng)。
特殊之處三:安裝現(xiàn)場(chǎng)再打開(kāi)外包裝
為什么一定要在安裝現(xiàn)場(chǎng)再打開(kāi)外包裝呢?在出廠時(shí),高效過(guò)濾器經(jīng)過(guò)了精心的包裝,包裝材料也是無(wú)塵的,達(dá)到了一定的潔凈等級(jí),在潔凈的環(huán)境中方可讓高效過(guò)濾器曝露在空氣中。
特殊之處四:安裝質(zhì)量好的預(yù)過(guò)濾器與中效過(guò)濾器
實(shí)施潔凈工程,安裝高效過(guò)濾器后,再要更換,便十分的麻煩,因?yàn)橐鼡Q高效過(guò)濾器,整個(gè)潔凈室便無(wú)法應(yīng)用了。對(duì)此,潔凈公司的做法是選擇質(zhì)量好的預(yù)過(guò)濾器與中效過(guò)濾器,以延長(zhǎng)高效過(guò)濾器的使用壽命。
高效過(guò)濾器的型號(hào)、功率、體積、安裝位置等問(wèn)題,在潔凈室設(shè)計(jì)中便要解決。一些潔凈公司缺乏經(jīng)驗(yàn),或技術(shù)不到位,安裝高效過(guò)濾器不得其法,影響了潔凈室的使用。

潔凈區(qū)部分高效過(guò)濾器進(jìn)行更換時(shí),用干凈的抹布清潔高效過(guò)濾器的靜壓箱,然后,打開(kāi)高效過(guò)濾器內(nèi)包裝,將密封條粘貼到高效過(guò)濾器的進(jìn)風(fēng)側(cè),平穩(wěn)的把高效過(guò)濾器放入靜壓箱內(nèi),搬運(yùn)時(shí)一定注意輕拿輕放,并記錄高效過(guò)濾器規(guī)格型號(hào)、編號(hào)及安裝位置。固定過(guò)濾器時(shí),先檢查過(guò)濾器在靜壓箱的中間,過(guò)濾器與靜壓箱四周離距相當(dāng),固定件應(yīng)對(duì)角固定,防止受力不均或損壞過(guò)濾器。靜壓箱內(nèi)固定螺母應(yīng)旋緊,使高效過(guò)濾器與靜壓箱之間的連接吻合且密封。然后開(kāi)啟空調(diào)機(jī)組,對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行通風(fēng)后,打開(kāi)高效過(guò)濾器內(nèi)包裝,按以上步驟進(jìn)行更換。

裝好高效過(guò)濾器后,運(yùn)行系統(tǒng),檢查有無(wú)漏風(fēng)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)有漏風(fēng)時(shí),做如下處理:緊固固定件或更換密封條并重新安裝,高效過(guò)濾器本身漏風(fēng),則需要更換新的高效過(guò)濾器。接下來(lái),安裝高效過(guò)濾器面板,安裝時(shí),按原標(biāo)記好的方向安裝,面板與頂棚的連接處盡量減少空隙,防止灰塵積聚。高效過(guò)濾器安裝后,應(yīng)重新進(jìn)行環(huán)境檢測(cè),并做驗(yàn)證,為下次確定高效過(guò)濾器報(bào)廢提供最可靠的依據(jù)。

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